[发明专利]一种VGF单晶炉、加热方法及存储介质在审
| 申请号： | 201811329041.X | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN109280962A | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 徐强强;范叶霞 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十一研究所 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;G06F17/50 |
| 代理公司： | 工业和信息化部电子专利中心 11010 | 代理人： | 于金平 |
| 地址： | 100015*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种VGF单晶炉、加热方法及计算机可读存储介质,本发明通过设置可移动加热环，通过该可移动加热环调解界面温度，从而实现对晶体的固液界面进行精确的温控。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 加热环 可移动 加热 计算机可读存储介质 存储介质 固液界面 晶体的 温控 调解 | ||
【主权项】：
1.一种VGF单晶炉，其特征在于，所述VGF单晶炉内包括可移动加热环；所述可移动加热环进一步包括陶瓷环和加热炉丝两部分构成；所述加热炉丝为环状加热丝，所述所述加热炉丝整体镶嵌在带有沟槽的陶瓷环上，加热丝两端中间放置有陶瓷块，将所述加热炉丝隔开；所述陶瓷环截面为C形，所述陶瓷环将加热丝包裹在其内，所述陶瓷环的截面C形结构陶瓷下端伸出长度大于炉丝内径，以阻挡炉丝沿轴向向下方的辐射，使其向安瓿的辐射方向为径向以及沿轴向向上两个范围之内；所述陶瓷环径向上相对的两侧与两个中空支撑陶瓷杆连接，所述加热炉丝两端引出高温导线穿过所述陶瓷杆一直延伸到炉体外侧与直流模块相连；所述陶瓷环设有耐高温S型热偶，热偶线穿过所述陶瓷杆到炉体外部与温度控制器相连。
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