[发明专利]承载台表面的处理方法在审
| 申请号： | 201811332742.9 | 申请日： | 2018-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN111172491A | 公开（公告）日： | 2020-05-19 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;罗明浩;占卫君 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C8/02 | 分类号： | C23C8/02;C23C8/56 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种承载台表面的处理方法，包括步骤：提供承载台，所述承载台具有承载面；对所述承载面进行细化晶粒处理；经过细化晶粒处理后，采用盐浴氮碳共渗工艺对所述承载面进行处理。采用该发明的处理方法，不仅可以很好的提高承载面的强度、硬度以及使用次数，同时该发明中采用环保的基盐处理承载面，利于环境保护，且能重复使用节约资源。 | ||
| 搜索关键词： | 承载 表面 处理 方法 | ||
【主权项】：
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