[发明专利]X射线测量装置有效

专利信息
申请号: 201811334347.4 申请日: 2018-11-09
公开(公告)号: CN109946329B 公开(公告)日: 2022-02-01
发明(设计)人: 三好寿顕;藤原健;加藤英俊;铃木良一 申请(专利权)人: 夏普株式会社;国立研究开发法人产业技术综合研究所
主分类号: G01N23/203 分类号: G01N23/203;G01N23/04
代理公司: 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 代理人: 汪飞亚;习冬梅
地址: 日本国大*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明能够在不使用捕捉微弱的X射线的特别结构的情况下检测X射线,使后方散射X射线像成像。本发明的X射线测量装置具备:X射线照射部(10),其对测量对象(2)照射X射线;传感器(20),其对与在测量对象(2)上反射的后方散射X射线对应的电信号进行检测;测量部(40),其参照传感器(20)输出的电信号来测量测量对象(20);以及重金属板(30),其使后方散射X射线通过,并形成有使后方散射X射线在传感器(20)上成像的针孔(32)。
搜索关键词: 射线 测量 装置
【主权项】:
1.一种X射线测量装置,其特征在于,具备:X射线照射部,其对测量对象照射X射线;X射线检测部,其检测与在上述测量对象上反射的后方散射X射线对应的电信号;测量部,其参照由上述X射线检测部检测出的电信号来测量上述测量对象;以及开口部,其使上述后方散射X射线通过,并形成有使上述后方散射X射线在上述X射线检测部上成像的开口。
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