[发明专利]一种具有温度补偿功能的两片式MEMS陀螺仪在审
| 申请号： | 201811344218.3 | 申请日： | 2018-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN109292727A | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 李杰;王晓臣;王万一;刘昕 | 申请（专利权）人： | 北方电子研究院安徽有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;G01C19/00 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 耿英;董建林 |
| 地址： | 233040*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有温度补偿功能的两片式MEMS陀螺仪，包含设置在基板上的MEMS陀螺仪芯片和ASIC芯片，在MEMS陀螺仪芯片和ASIC芯片下方的基板内部嵌入温度反馈系统，使MEMS陀螺仪芯片和ASIC芯片通过温度反馈系统形成导热通路。本发明提供的具有温度补偿功能的两片式MEMS陀螺仪，使专用集成电路芯片不仅可以对自身温度进行检测，而且可以对MEMS器件的温度变化作出有效反馈。 | ||
| 搜索关键词： | 温度补偿功能 陀螺仪芯片 两片式 陀螺仪 温度反馈 专用集成电路芯片 导热通路 基板内部 系统形成 基板 嵌入 反馈 检测 | ||
【主权项】：
1.一种具有温度补偿功能的两片式MEMS陀螺仪，其特征是，包含设置在基板上的MEMS陀螺仪芯片和ASIC芯片，在MEMS陀螺仪芯片和ASIC芯片下方的基板内部嵌入温度反馈系统，使MEMS陀螺仪芯片和ASIC芯片通过温度反馈系统形成导热通路。
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