[发明专利]用于光配向的掩膜板及用于光配向的掩膜组在审
| 申请号： | 201811344578.3 | 申请日： | 2018-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN109270743A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 向旭;洪孟逸 | 申请（专利权）人： | 成都中电熊猫显示科技有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1337 | 分类号： | G02F1/1337;G03F1/00;G03F1/54 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 黄溪;刘芳 |
| 地址： | 610200 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于光配向的掩膜板及用于光配向的掩膜组，用于光配向的掩膜板包括至少一个掩膜图形区域，每个掩膜图形区域包括非连续部和位于非连续部两侧的连续部，连续部用于和其它掩膜板上的掩膜图形区域的连续部接续，连续部包括多个透光部和多个不透光部，透光部和不透光部沿掩膜板的横向交替排列；每个连续部中的透光部和与连续部接续的其他掩膜板的连续部的不透光部在掩膜板的板面上的投影相互重合，且不透光部和与连续部接续的其他掩膜板的连续部的透光部在掩膜板的板面上的投影相互重合。本发明的用于光配向的掩膜板及用于光配向的掩膜组能够解决由于在不同配向机台上进行光配向而导致的Mura问题。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 连续部 配向 不透光部 透光 掩膜图形 掩膜组 接续 非连续部 重合 投影 机台 交替排列 | ||
【主权项】：
1.一种用于光配向的掩膜板，包括至少一个掩膜图形区域，其特征在于，每个所述掩膜图形区域包括非连续部和位于所述非连续部两侧的连续部，所述连续部用于和其它掩膜板上的掩膜图形区域的连续部接续，所述连续部包括多个透光部和多个不透光部，所述透光部和所述不透光部沿所述掩膜板的横向交替排列；每个所述连续部中的所述透光部和与所述连续部接续的其他掩膜板的连续部的不透光部在所述掩膜板的板面上的投影相互重合，且所述不透光部和与所述连续部接续的其他掩膜板的连续部的透光部在所述掩膜板的板面上的投影相互重合。
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