[发明专利]原料存储罐及半导体设备

摘要

本发明提供一种原料存储罐及半导体设备。原料存储罐包括存储罐本体、加热装置和盒盖；存储罐本体用于容纳制程原料；加热装置位于存储罐本体上，用于加热制程原料以加快制程原料的挥发；盒盖位于存储罐本体上，盒盖上设置有至少一个供气口，挥发的制程原料通过供气口导出存储罐本体。本发明的原料存储罐可以极大加快制程原料的挥发速度，并由此改善其在饱和蒸气压中的浓度，有助于缩短后续的制程工艺时间，有助于提高设备产出率，且本发明可以有效改善制程原料蒸汽的均匀性，有利于提高光刻图形品质；采用本发明的半导体设备，可有效缩短制程工艺时间，可显著提高生产效率及生产良率，降低生产成本。