[发明专利]缺陷检测方法及缺陷检测系统在审
| 申请号： | 201811349970.7 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN111189845A | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 王通;许继仁;林庆儒 | 申请（专利权）人： | 芯恩（青岛）集成电路有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 266000 山东省青岛市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种缺陷检测方法及缺陷检测系统，缺陷检测方法包括步骤：1)使用短波光及长波光分别对待检测晶圆各区域进行交替脉冲式扫描；2)接收待检测晶圆对短波光进行反射的短波反射光信号及对长波光进行反射的长波反射光信号；3)去除位于预设强度范围之外的短波反射光信号及长波反射光信号，并去除待检测晶圆同一区域反射的、且位于预设强度范围之内的短波反射光信号及长波反射光信号二者中的强度较小者；4)依据保留的短波反射光信号及保留的长波反射光信号形成缺陷图形以进行缺陷检测。本发明可以确保各个区域的亮度最优化，可以提高缺陷的捕获能力，避免缺陷的漏检。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
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