[发明专利]一种显示基板及其制作方法和显示装置有效
| 申请号： | 201811350776.0 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN109637923B | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 葛邦同;付婷婷 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;H01L21/84;H01L27/12;G02F1/1362;G02F1/1368 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 邢涛 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种显示基板及其制作方法和显示装置。一种显示基板的制作方法，包括：在衬底上形成栅极、栅极绝缘层、有源层、源极和漏极；其中，在有源层和栅极绝缘层的接触面进行等离子体清洗。本方案采用等离子体清洗方法处理栅极绝缘层和有源层的接触面，消除该接触面积累的正电荷，降低正电荷形成内电场的大小，阈值电压大于零，从而提高器件的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显示 及其 制作方法 显示装置 | ||
【主权项】：
1.一种显示基板的制作方法，其特征在于，包括步骤：衬底；在所述衬底上形成栅极、栅极绝缘层、有源层、源极和漏极；其中，在有源层和栅极绝缘层的接触面进行等离子体清洗。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
