[发明专利]一种功率分配电感耦合线圈及具有其的等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201811353354.9 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN111192752B | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 李雪冬;刘小波;胡冬冬;车东晨;李娜;陈兆超;陈璐;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01F38/14 | 分类号： | H01F38/14;H01F5/00 |
| 代理公司： | 北京得信知识产权代理有限公司 11511 | 代理人： | 孟海娟;崔建丽 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种功率分配电感耦合线圈及具有其的等离子体处理装置。功率分配电感耦合线圈包括多个定值电容、多个可调电容和三组电感线圈，其中，第一线圈绕组和第二线圈绕组相互嵌套，为外圈绕组部分，第三线圈绕组为内圈绕组部分；第一可调电容、第一线圈绕组、第一定值电容串联组成第一支路，第一定值电容末端接地；第二可调电容、第二线圈绕组、第二定值电容、第三线圈绕组、第三定值电容的次序串联组成第二支路，第三定值电容末端接地；第一可调电容和第二可调电容的空闲端相连，使第一支路与第二支路形成并联。通过调节第一可调电容和第二可调电容的比值，使不同线圈绕组中的功率分配不同，改变反应腔内等离子体分布，从而提高工艺的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 功率 分配 电感 耦合 线圈 具有 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
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