[发明专利]一种薄膜晶体管、阵列基板以及显示面板有效
| 申请号： | 201811353989.9 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN109390414B | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 鈴木巌 | 申请（专利权）人： | 成都中电熊猫显示科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/49;H01L27/12 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 文小莉;刘芳 |
| 地址： | 610200 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种薄膜晶体管、阵列基板以及显示面板，薄膜晶体管包括依次层叠设在衬底上的栅极层、栅极绝缘层、有源层和源/漏极层，所述栅极层包括层叠设置在所述衬底上的金属缓冲层和栅极主体层，且所述金属缓冲层被设置成在高温下可防止所述金属缓冲层中的金属扩散到所述栅极主体层中。通过将金属缓冲层设置成在高温下可防止金属缓冲层中的金属扩散到栅极主体层中，在制作金属氧化物阵列基板的高温处理工艺中，可防止金属向栅极主体层中的扩散，使金属缓冲层中的金属无法扩散到栅极主体层中，从而抑制了栅极配线电阻的上升，使得到的栅极的配线电阻降低，提升了薄膜晶体管的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 阵列 以及 显示 面板 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管，包括依次层叠设在衬底上的栅极层、栅极绝缘层、有源层和源/漏极层，其特征在于：所述栅极层包括层叠设置在所述衬底上的金属缓冲层和栅极主体层，且所述金属缓冲层被设置成在高温下可防止所述金属缓冲层中的金属扩散到所述栅极主体层中。
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