[发明专利]一种管式PECVD石墨舟结构有效
| 申请号： | 201811354016.7 | 申请日： | 2018-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN109524336B | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 肖洁;吴德轶;成秋云;张春成 | 申请（专利权）人： | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清;戴玲 |
| 地址： | 410205 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明的管式PECVD石墨舟结构，包括陶瓷基座、两个舟片锁紧盘组件、两个陶瓷固定环、石墨棒和多个舟片，舟片锁紧盘组件包括陶瓷绝缘盘和石墨导电盘，石墨导电盘上设有多个卡槽和多个第一导电槽，卡槽与第一导电槽均匀交错布置，陶瓷绝缘盘上设有多个卡齿，卡齿与卡槽的数量相等且二者配合，卡齿上设有第二导电槽，陶瓷基座上的安装柱面上设有舟片安装槽，陶瓷固定环上设有固定槽，舟片可沿轴向插入舟片安装槽内，舟片前端同时卡在前端的第一导电槽和固定槽内，舟片的后端同时卡在后端的第二导电槽和固定槽内。本发明中舟片呈扇形布置，充分利用石英管的空间，载片量比现有大，石墨舟电极处在石英管的中心，而舟片在电极外周，能使气流场更平顺均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 石墨 结构 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
