[发明专利]有机物沉积装置以及利用此的有机物沉积方法在审
| 申请号： | 201811357355.0 | 申请日： | 2018-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN110117770A | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 李侑钟;许明洙;郑成镐;韩尚辰;姜有珍;徐敏逵;韩种馩 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 孙昌浩;李盛泉 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开一种有机物沉积装置以及利用此的有机物沉积方法。本发明的有机物沉积装置设置于真空腔室内，并包括：沉积物质供应部；容器部，存储从沉积物质供应部供应的沉积物质；气化部，在内部设置有使沉积物质气化的第一加热器；移送部，结合于容器部，借助直线往复运动而将容器部移送至所述气化部的内部；以及喷嘴部，与气化部分离布置，且借助连接管而与气化部连通，并具有向基板喷射沉积物质的通道。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 有机物 沉积装置 气化部 容器部 物质供应 直线往复运动 第一加热器 内部设置 喷射沉积 物质气化 连接管 喷嘴部 真空腔 基板 气化 连通 存储 室内 | ||
【主权项】：
1.一种有机物沉积装置，设置于真空腔室内，其中，包括：至少一个沉积物质供应部；容器部，存储从所述沉积物质供应部供应的至少一个沉积物质；气化部，在内部设置有使所述沉积物质气化的第一加热器；移送部，结合于所述容器部，借助直线往复运动而将所述容器部移送至所述气化部的内部；以及喷嘴部，与所述气化部分离布置，且借助连接管而与所述气化部连通，并具有向基板喷射沉积物质的通道。
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