[发明专利]半片多晶太阳能电池片的制作工艺

摘要

本发明提供了一种半片多晶太阳能电池片的制作工艺。它解决了现有制备方法的步骤过于简单，无法保证其质量，制备效果差等技术问题。本半片多晶太阳能电池片的制作工艺，包括如下步骤：a、检验；b、制绒；c、扩散；d、刻蚀；e、去PSG；f、PECVD；g、丝网印刷；h、烧结；i、划片；j、裂片；k、钝化；l、测试分选。本发明具有制作效果好的优点。

主权项

1.半片多晶太阳能电池片的制作工艺，其特征在于，包括如下步骤：a、检验：对硅片进行检验，去除不合格的硅片；b、制绒：对硅片进行清洗制绒，清除表面损伤层和污染层，并形成金字塔结构的绒面；c、扩散：将硅片放入到石英舟中，将石英舟放入到扩散炉中进行扩散；d、刻蚀：通过湿法刻蚀设备对硅片进行刻蚀；e、去PSG：将硅片进行表面去磷清洗，并用去离子水对硅片进行漂洗；f、PECVD：将硅片放入到石墨舟中，将石墨舟放入到管式PECVD设备中进行镀膜，形成减反射膜；g、丝网印刷：通过丝网印刷机在硅片的上下表面印制正、负电极；h、烧结：将硅片放入到烧结设备中进行烧结，得到多晶太阳能电池片；i、划片：通过激光划片机对多晶太阳能电池片背面进行切割，形成切槽；j、裂片：通过电池片裂片机对多晶太阳能电池片沿切槽处进行裂片，形成半片多晶太阳能电池片；k、钝化：通过钝化装置对多晶太阳能电池片新生成切割面进行钝化，形成钝化膜；l、测试分选：对半片多晶太阳能电池片进行测试，按电流和功率大小进行分类。