[发明专利]用于卷对卷沉积的滚筒、卷对卷沉积设备以及膜卷在审

专利信息
申请号: 201811360866.8 申请日: 2018-11-15
公开(公告)号: CN109943830A 公开(公告)日: 2019-06-28
发明(设计)人: 鞠允镐;金南国;陆昇炫;崔诚祐;李焕建 申请(专利权)人: 乐金显示有限公司
主分类号: C23C16/54 分类号: C23C16/54
代理公司: 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 代理人: 李琳;陈英俊
地址: 韩国*** 国省代码: 韩国;KR
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 本文公开了一种用于卷对卷沉积的滚筒,其围绕纵轴旋转。滚筒的横向截面是圆形的并且具有如下的形状:相对的纵向边缘部分分别具有比纵向中央部分窄的宽度。通过使用根据本公开的实施例的用于卷对卷沉积的滚筒,可以在执行卷对卷沉积工艺时消除在柔性基板上发生的褶皱。因此,可以制造具有拥有优异的横向厚度均匀性的沉积层的膜卷。
搜索关键词: 卷对卷 滚筒 沉积 膜卷 褶皱 厚度均匀性 沉积设备 横向截面 柔性基板 纵向边缘 纵向中央 纵轴旋转 沉积层 制造
【主权项】:
1.一种滚筒,所述滚筒用于卷对卷沉积,所述滚筒绕纵轴旋转,所述滚筒的横向截面是圆形的,并且具有如下的形状:相对的纵向边缘部分分别具有比纵向中央部分小的宽度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于乐金显示有限公司,未经乐金显示有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201811360866.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top