[发明专利]一种激光光束终端指向检测与校正方法及激光加工装置有效
| 申请号： | 201811360893.5 | 申请日： | 2018-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN109483047B | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 李珣;李明;谭羽 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B23K26/042 | 分类号： | B23K26/042;B23K26/064 |
| 代理公司： | 61211 西安智邦专利商标代理有限公司 | 代理人： | 汪海艳 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种激光光束终端指向检测与校正方法及激光加工装置，用以解决激光加工过程中，由于激光装备的长时间工作，激光器出射光束指向偏移、振镜温漂及时漂等原因造成激光光束在加工终端产生指向偏移从而影响被加工图形位置精度的问题。根据光程共轭原理对激光光束终端指向的检测与校正装置的空间位置进行布局以及标定，使得其视野内的光斑位置偏移量与实际激光加工光斑位置的偏移量相等，从而可以通过检测装置的光斑位置表征激光加工表面的光斑偏移情况；可广泛应用于我国航空航天、汽车、3C、光电子、模具等领域的激光精细表面制造、制孔、精细切割方面。 | ||
| 搜索关键词： | 激光光束 终端指向 激光加工装置 光斑位置 激光加工 偏移 校正 检测 指向 激光 光斑位置偏移 激光加工过程 通过检测装置 出射光束 光斑偏移 航空航天 精细表面 空间位置 图形位置 校正装置 终端产生 激光器 偏移量 标定 光电子 共轭 光程 温漂 振镜 制孔 相等 模具 加工 切割 精细 视野 汽车 应用 制造 | ||
【主权项】：
1.一种激光光束终端指向检测与校正方法，其特征在于，包括以下步骤：/n步骤一：分光；/n采用分光元件，将从振镜系统出射的激光光束分为激光加工光束及激光检测光束；/n步骤二：采集激光检测光束并标定，获得目标光斑；/n2.1、引入视觉系统，用于采集激光检测光束，根据光程共轭原理确定分光元件、视觉系统的位置；调整分光元件与视觉系统的位置，使激光终端的指向偏移量等于激光光束终端指向视觉系统靶面中光斑的偏移量；/n2.2、在光束指向稳定时，视觉系统采集激光检测光束，获得目标光斑位置；/n步骤三：采集实时光斑；/n视觉系统在线采集加工过程中的激光检测光束，获取实时光斑的位置；/n步骤四：获取激光加工光束的偏移量；/n对比实时光斑的位置与步骤三获取的目标光斑位置；若实时光斑与目标光斑的位置不符，则通过图像处理算法解算实时光斑与目标光斑的位置偏差，获得激光加工光束的偏移量；若实时光斑与目标光斑的位置无偏差，则继续进行加工；/n步骤五：反馈控制；/n视觉系统将步骤四获得的偏移量反馈至振镜系统，振镜系统根据接收的偏移量调节内部反光镜对光路进行调整，实现激光光束指向校正。/n
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