[发明专利]光学成像系统、方法、装置及存储介质有效
| 申请号： | 201811365902.X | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN109297965B | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 吴进;黄文轩;吴子轩 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G01N21/01;G02B21/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 周清华 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及光学成像系统、方法、装置及存储介质，该光学成像系统包括：聚合物弹性探针阵列、光学透镜、摄像装置和处理装置；通过控制装置控制聚合物弹性探针阵列以恒定高度接触式扫描待测样品表面；光学透镜接收聚合物弹性探针阵列在扫描待测样品表面时因压缩形变而反射的光强信号，呈现光强信号对应的物像；摄像装置采集物像所对应的光强图像控制装置；控制装置对光强图像进行处理，获得待测样品的表面形貌图像。上述技术方案解决了传统光学成像镜分辨率低，原子力显微镜扫描表征效率低的技术问题，提高待测样品表面形貌图像的分辨率和表征效率，且聚合物弹性探针阵列具有制备成本低、对样品表面无损伤、可大面积制备阵列和可反复使用的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 成像 系统 方法 装置 存储 介质 | ||
【主权项】：
1.一种光学成像系统，其特征在于，包括：聚合物弹性探针阵列、光学透镜、摄像装置以及控制装置；所述控制装置用于控制所述聚合物弹性探针阵列以恒定高度接触式扫描待测样品表面；所述光学透镜用于接收所述聚合物弹性探针阵列在扫描所述待测样品表面时因压缩形变而反射的光强信号，呈现所述光强信号对应的物像；所述摄像装置用于采集所述物像所对应的光强图像，并将所述光强图像发送至所述控制装置；所述控制装置连接所述摄像装置，用于对所述光强图像进行处理，获得所述待测样品的表面形貌图像。
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