[发明专利]使用冷凝手段的表面检测装置及其方法在审
申请号: | 201811366056.3 | 申请日: | 2018-11-16 |
公开(公告)号: | CN111197966A | 公开(公告)日: | 2020-05-26 |
发明(设计)人: | 蔡政廷;杨兰昇 | 申请(专利权)人: | 致茂电子(苏州)有限公司 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 215011 江苏省苏州市苏州高*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本揭露提出一种使用冷凝手段的表面检测装置及其方法。表面检测装置用于检测一待测物件的表面。表面检测装置包含气流产生器、发光元件以及感光元件。气流产生器位于待测物件上方,配置以朝向待测物件的表面喷射蒸气气流而在待测物件的表面上形成冷凝层。发光元件位于待测物件上方且朝向冷凝层,配置以对冷凝层投射光线。感光元件位于待测物件上方,配置以接收被冷凝层所散射的光线。通过冷凝层覆盖后方的待测物件,使得表面检测方法能够检测透明、弯折的待测物件,有效避免光线穿透待测物件后被其他物体反射而造成感光元件接收到大量的背景噪讯。 | ||
搜索关键词: | 使用 冷凝 手段 表面 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
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