[发明专利]衬底运输真空平台有效
| 申请号： | 201811372158.6 | 申请日： | 2015-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN109595259B | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | C·霍夫迈斯特;M·霍塞克 | 申请（专利权）人： | 柿子技术公司 |
| 主分类号： | F16C32/04 | 分类号： | F16C32/04;H01L21/677;H02J50/05;H02J50/10;H02J50/12;H02J50/90 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;吕世磊 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种装置，包括：设备，被配置为将至少一个衬底支撑在其上；以及运输机，所述设备连接到所述运输机，其中所述运输机被配置为承载所述设备。所述运输机包括：第一支撑件，包括第一电容性接口；以及第二支撑件，包括第二电容性接口，其中所述第二支撑件沿线性路径可移动地连接到所述第一支撑件，并且其中所述第一电容性接口和所述第二电容性接口被确定大小、成形和相对于彼此定位以提供非接触式电容性功率耦合并且允许在所述第一电容性接口和所述第二电容性接口之间的热传递。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 运输 真空 平台 | ||
【主权项】：
暂无信息
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