[发明专利]一种制作靶材用多主元合金及其制备方法

摘要

本发明提供了一种制作靶材用多主元合金及其制备方法，属于金属材料及其制备领域。该多主元合金的化学式为AlxCoCuMnyNiTiz，其中0.1≤x≤1.2；0.1≤y≤1.2；0.1≤z≤1.2；0.01x/(x+y+z+3)0.30；0.01y/(x+y+z+3)0.30；0.01z/(x+y+z+3)0.30。本发明方法制备的多主元合金材料成分与原料配比成分一致；烧结过程中保持一定的压力，很大程度上减弱了烧结过程中的膨胀行为，最大限度的提高了合金的致密度，减少了材料的空隙；该方法工艺简单，设备成本低，操作可控，适于工业化大规模生产。

主权项

1.一种制作靶材用多主元合金，其特征在于：该多主元合金的化学式为AlxCoCuMnyNiTiz，其中0.1≤x≤1.2；0.1≤y≤1.2；0.1≤z≤1.2；0.01

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