[发明专利]一种多晶表面有机物不良电池片返工工艺有效
申请号: | 201811376002.5 | 申请日: | 2018-11-19 |
公开(公告)号: | CN109616551B | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
发明(设计)人: | 李鑫;陈建生;许成德 | 申请(专利权)人: | 横店集团东磁股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人: | 尉伟敏 |
地址: | 322118 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及多晶硅太阳能电池制作技术领域,为解决传统不良电池片返工工艺无法有效清除有机物、成品率低的问题,提供了一种多晶表面有机物不良电池片返工工艺,包括以下步骤:(1)将电池片于混合药液中进行两面清洗;(2)第一水洗槽清洗;(3)第二水洗槽清洗;(4)高温氮气干燥;(5)重新制绒、扩散制作PN结、刻蚀、镀膜、丝网、烧结、测试。本发明工艺简单高效,装置设计巧妙,电池片处理效果好,减少电池片表面的复合,有利于电池片效率的提升;整个工艺流程资源利用率高,药液和去离子水用量少,相比原有清洗工艺清洗效率提升0.09~0.12%,电池片A级成品率,大幅降低电池实际生产成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 表面 有机物 不良 电池 返工 工艺 | ||
【主权项】:
1.一种多晶表面有机物不良电池片返工工艺,其特征在于,包括以下步骤:(1)将待清洗多晶表面有机物不良电池片置于药液槽内的混合药液中进行两面清洗,所述混合药液由氢氟酸、臭氧水、盐酸和双氧水按照体积比为(5~6):(1~1.5):(1~2):(1~1.5)配制而成;(2)将经步骤(1)处理过的电池片于第一水洗槽中进行清洗;(3)将经步骤(2)处理过的电池片于第二水洗槽中进行清洗;(4)将经步骤(3)处理过的电池片于干燥槽中,进行高温氮气干燥;(5)将经步骤(4)处理过的电池片进行重新制绒、扩散制作PN结、刻蚀、镀膜、丝网、烧结、测试,完成多晶表面有机物不良电池片重新制作成电池工艺。
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H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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