[发明专利]一种高密度磁隧道结制造方法有效
| 申请号： | 201811378263.0 | 申请日： | 2018-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN111200060B | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 许开东;车东晨;胡冬冬;崔虎山;刘自明;琚里;孙宏月;陈璐 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | H10N50/01 | 分类号： | H10N50/01;H10B61/00;H10N50/10 |
| 代理公司： | 北京得信知识产权代理有限公司 11511 | 代理人： | 孟海娟;崔建丽 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种高密度磁隧道结制造方法，包括以下步骤：形成包括下电极、第一磁性层、隧穿层、第二磁性层和上电极的磁隧道结结构；利用含研磨颗粒的可自我修复的柔性研磨体对所述磁隧道结的侧壁进行研磨，去除侧壁的黏附层和损伤层，获得陡直侧壁；利用有机溶液对磁性隧道结进行清洗去除表面颗粒及残留物。本发明能够实现无损、无盲区的去除磁性隧道结侧壁的黏附层和损伤层，获得形貌陡直的侧壁，有效提高器件性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高密度 隧道 制造 方法 | ||
【主权项】：
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