[发明专利]一种柔性可转移电子器件的制备方法在审
申请号: | 201811378481.4 | 申请日: | 2018-11-19 |
公开(公告)号: | CN109285946A | 公开(公告)日: | 2019-01-29 |
发明(设计)人: | 刘钢;卢颖;李润伟;高双;伊晓辉 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人: | 单英 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种柔性可转移电子器件的制备方法。该方法采用可溶性物质作为牺牲层,首先在牺牲层表面直接制作柔性电子器件,然后利用溶剂溶解该牺牲层,得到柔性电子器件,最后根据实际需要将该柔性电子器件转移到所需的柔性衬底上。该方法简单、快速、环保,对电子器件中的结构成分无损害,可实现柔性衬底的超薄化,制得的柔性电子器件可转移至平整或者非平整表面,具有良好的应用性。 | ||
搜索关键词: | 柔性电子器件 电子器件 可转移 牺牲层 衬底 制备 非平整表面 可溶性物质 溶剂溶解 直接制作 超薄化 应用性 平整 环保 损害 | ||
【主权项】:
1.一种柔性可转移电子器件的制备方法,其特征是:包括如下步骤:(1)采用可溶性物质,在该物质表面制作柔性电子器件;(2)利用溶剂溶解该可溶性物质,得到柔性电子器件;(3)将该柔性电子器件转移到柔性衬底上,使该柔性电子器件连接在柔性衬底二者相结合。
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