[发明专利]基于预拉伸的石墨烯柔性应变传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201811378835.5 | 申请日： | 2018-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN109520411B | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 吕晓洲;杨嘉怡;胡翰伦 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | G01B7/16 | 分类号： | G01B7/16 |
| 代理公司： | 西安知诚思迈知识产权代理事务所(普通合伙) 61237 | 代理人： | 麦春明 |
| 地址： | 710126 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于预拉伸的石墨烯柔性应变传感器及其制备方法。基于预拉伸的石墨烯柔性应变传感器包括释放后的衬底，释放后的衬底上设有石墨烯敏感层，石墨烯敏感层两端与释放后的衬底的连接处设有导电银胶，导电银胶上表面设有电极。基于预拉伸的石墨烯柔性应变传感器的制备方法，转移石墨烯薄膜前对衬底进行预拉伸，通过干式转移法完成石墨烯薄膜的转移，进而制备基于预拉伸的石墨烯柔性应变传感器。本发明制作的传感器通过预拉伸实现了较大应变的测量，具有很好的稳定与重复性，通过干式转移法，提高了制作成功率，简化了制备方法，实现了大批量制作。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 拉伸 石墨 柔性 应变 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.基于预拉伸的石墨烯柔性应变传感器，其特征在于，包括释放后的衬底（6），释放后的衬底（6）上设有石墨烯敏感层（7），石墨烯敏感层（7）两端与释放后的衬底（6）的连接处设有导电银胶（8），导电银胶（8）上表面设有电极（9）。
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