[发明专利]驱动器和光扫描装置在审
| 申请号： | 201811383206.1 | 申请日： | 2018-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN109975974A | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 山田健介 | 申请（专利权）人： | 三美电机株式会社 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;李平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种驱动器和光扫描装置。在成为驱动器的MEMS结构体中，不管有无位移取得用的传感器均能够检测梁的折损。本发明的驱动器具有：驱动对象物；支撑上述驱动对象物的驱动梁；支撑上述驱动梁的固定框；驱动上述驱动梁，使上述驱动对象物绕预定的轴摆动的驱动源；以及在上述驱动梁上蔓延地形成，且在上述固定框之上具有端子的故障探测用配线图案。 | ||
| 搜索关键词： | 驱动器 驱动梁 驱动对象物 光扫描装置 固定框 故障探测 配线图案 检测梁 驱动源 轴摆动 传感器 折损 支撑 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种驱动器，其特征在于，具有：驱动对象物；驱动梁，其支撑上述驱动对象物；固定框，其支撑上述驱动梁；驱动源，其驱动上述驱动梁，使上述驱动对象物绕预定的轴摆动；以及故障探测用配线图案，其在上述驱动梁上蔓延地形成，且在上述固定框之上具有端子。
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