[发明专利]末端集成微气泡的微纳光纤光栅二维振动传感器及其制作方法有效
| 申请号： | 201811384172.8 | 申请日： | 2018-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN109374113B | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 吴胜楠;何赛灵;胡思琪 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 邱启旺 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种末端集成微气泡的微纳光纤光栅二维振动传感器及其制作方法，包括第一单模光纤，所述第一单模光纤的尾端具有光纤悬臂梁结构，所述光纤悬臂梁结构由依次相连的光纤布拉格光栅、第二单模光纤、光纤毛细管和第三单模光纤组成，所述光纤毛细管和第三单模光纤形成法布里‑珀罗干涉腔。本发明所提出的光纤传感器结构能够同时检测出振动的频率、强度和方向；制作简单，结构紧凑；具有光纤传感器的传统优势，具有高灵敏度、体积小巧、抗电磁干扰、无需供电、易组网等诸多优点，弥补了电子式传感器的缺点。 | ||
| 搜索关键词： | 末端 集成 气泡 光纤 光栅 二维 振动 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种末端集成微气泡的微纳光纤光栅二维振动传感器，其特征在于，包括第一单模光纤，所述第一单模光纤的尾端具有光纤悬臂梁结构，所述光纤悬臂梁结构由依次相连的光纤布拉格光栅、第二单模光纤、光纤毛细管和第三单模光纤组成，所述光纤毛细管和第三单模光纤形成法布里‑珀罗干涉腔。
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