[发明专利]抛光头、抛光设备以及抛光头的使用方法

摘要

本发明提供的一种抛光头、抛光设备以及抛光头的使用方法，涉及化学机械抛光设备技术领域，包括：基体；基体压环安装在基体内并与基体连接；通气隔板与基体通过螺旋管连接，并套设在基体压环外；柔膜压板与通气隔板连接，并套设在基体压环外；内隔膜套设在基体压环上，且内隔膜的外端与通气隔板和柔膜压板连接；维持环与柔膜压板连接；柔膜安装在维持环的内环，柔膜的内侧设置有至少两层环形的分区槽；柔膜托板和中通板均为环形板状；柔膜托板和中通板上下相对布置，且均安装在柔膜内侧与柔膜的内侧端连接，将柔膜的不同分区槽密封分隔成不同的气体分区；中通板上设置有多个气路孔，用于连通多个气体分区。

主权项

1.一种抛光头，其特征在于，包括：基体；基体压环，所述基体压环安装在所述基体内并与所述基体连接；通气隔板，所述通气隔板与所述基体通过螺旋管连接，并套设在所述基体压环外，用于传递气路；柔膜压板，所述柔膜压板与所述通气隔板连接，并套设在所述基体压环外，用于传递气路；内隔膜，所述内隔膜套设在所述基体压环上，且所述内隔膜的外端与所述通气隔板和所述柔膜压板连接；所述基体压环、所述通气隔板、所述内隔膜和所述柔膜压板之间形成有密封的第一气体分区；所述内隔膜能够根据所述第一气体分区内的气体压力而变形，驱动所述基体压环、所述通气隔板和所述柔膜压板向下移动；维持环，所述维持环与所述柔膜压板连接；柔膜，所述柔膜安装在所述维持环的内环，所述柔膜的内侧设置有至少两层环形的分区槽；柔膜托板和中通板，所述柔膜托板和所述中通板均为环形板状；所述柔膜托板和所述中通板上下相对布置，且均安装在所述柔膜内侧与所述柔膜的内侧端连接，将所述柔膜的不同分区槽密封分隔成不同的气体分区；所述中通板上设置有多个气路孔，用于连通多个所述气体分区。