[发明专利]基板载具、溅镀装置及溅镀方法有效
| 申请号： | 201811386969.1 | 申请日： | 2018-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN109628903B | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 刘洪胜 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 44265 深圳市德力知识产权代理事务所 | 代理人： | 林才桂;鞠骁 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板载具、溅镀装置及溅镀方法。本发明的基板载具包括框状的本体，本体的内侧面设有多个通槽，每一通槽的两端分别连接本体的第一端面及第二端面，每一通槽包括沿第一端面及第二端面排列方向依次设置的第一区及第二区，每一通槽在第一区的槽深大于在第二区的槽深，溅镀时，基板覆盖本体的内侧面围成的开口且与多个通槽交叠，基板的边缘与本体的内侧面间的距离为一预设距离，该预设距离大于通槽在第二区的槽深且小于通槽在第一区的槽深，能够降低基板与基板载具之间的重叠区域的面积，扩大溅镀制程中基板的有效成膜面积。 | ||
| 搜索关键词： | 基板载具 槽深 溅镀 通槽 第一区 基板 溅镀装置 预设距离 侧面 基板覆盖 排列方向 依次设置 重叠区域 成膜 交叠 框状 制程 开口 | ||
【主权项】：
1.一种基板载具，其特征在于，包括框状的本体(10)；所述本体(10)的内侧面(11)设有多个通槽(12)，每一通槽(12)的两端分别连接本体(10)的第一端面(13)及第二端面(14)；/n每一通槽(12)包括沿第一端面(13)及第二端面(14)排列方向依次设置的第一区(121)及第二区(122)；每一通槽(12)在第一区(121)的槽深大于在第二区(122)的槽深；/n每一通槽(12)的槽底与槽壁之间通过圆角连接，每一通槽(12)的槽壁与本体(10)的内侧面(11)之间通过圆角连接。/n
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