[发明专利]用于捕获半导体制造设备的粉末的装置

摘要

一种用于捕获半导体制造设备的粉末的装置可以包括第一捕获单元、第二捕获单元、连接管道和空气脉动单元。第一捕获单元可以首要地捕获从处理室排出的废气中的粉末。第二捕获单元可以辅助地捕获废气中的粉末。连接管道可以连接在第一捕获单元与第二捕获单元之间，以将第一捕获单元中的废气传送到第二捕获单元。空气脉动单元可以连接到连接管道，以去除连接管道中剩余的粉末。第一捕获单元和第二捕获单元中的任一个可以包括防止粉末逆流结构。防止粉末逆流结构可以包括至少一个捕捉翼，所述捕捉翼沿第一捕获单元或第二捕获单元的延伸方向布置。

主权项

1.一种用于捕获半导体制造设备中的粉末的装置，所述装置布置在处理室与真空泵之间，以捕获从所述处理室排出的废气中的粉末，所述装置包括：/n第一捕获单元，所述第一捕获单元首要地用于捕获所述废气中的粉末；/n第二捕获单元，所述第二捕获单元接收来自所述第一捕获单元的所述废气，以辅助地捕获所述废气中的粉末；/n连接管道，所述连接管道连接在所述第一捕获单元与所述第二捕获单元之间；以及/n空气脉动单元，所述空气脉动单元与所述连接管道连接，以去除所述连接管道中的粉末，/n其中，所述第一捕获单元和第二捕获单元中的任一个包括防止粉末逆流结构，所述防止粉末逆流结构包括沿所述第一捕获单元或所述第二捕获单元的延伸方向布置的至少一个捕捉翼。/n