[发明专利]电子显微镜样品芯片及其相关应用

摘要

本发明的实施例提供了一种电子显微镜样品芯片及其相关应用，其中电子显微镜样品芯片，包括：第一基座，第一基座包括薄膜层、缓冲层以及主体层，缓冲层设置于薄膜层上且具有与薄膜层的一区域相对应的缓冲开口，主体层设置于缓冲层上且具有与缓冲层的缓冲开口相对应的主体开口，用于露出薄膜层与缓冲开口相对应的区域，薄膜层、缓冲层以及主体层的蚀刻特性不同；间隔层，设置于第一基座下并界定有样品容置空间，样品容置空间与薄膜层对应缓冲开口的区域相对应；第二基座，设置于间隔层远离第一基座的一侧。在本发明所提供的技术方案中，缓冲开口以及主体开口实质上垂直于薄膜层，减小了样品容置空间受到的视觉遮蔽障碍，扩大了可视区的范围。

主权项

1.一种电子显微镜样品芯片，其特征在于，包括：一第一基座，包括：一薄膜层；一缓冲层，设置于所述薄膜层上且具有一与所述薄膜层的一区域相对应的缓冲开口；一主体层，设置于所述缓冲层上且具有一与所述缓冲开口相对应的主体开口，用于露出所述薄膜层与所述缓冲开口相对应的区域，所述主体层厚度为10μm至800μm，所述薄膜层、所述缓冲层以及所述主体层的蚀刻特性不同；以及一间隔层，设置于所述第一基座下并界定有一样品容置空间，所述样品容置空间与所述薄膜层对应所述缓冲开口的区域相对应；以及一第二基座，设置于所述间隔层远离所述第一基座的一侧。