[发明专利]一种晶体称重装置

摘要

本发明涉及一种用于大重量级蓝宝石晶体的长晶炉的晶体称重装置。由于现有的蓝宝石长晶炉，普遍是将晶体称重装置安放于真空腔外,而与水冷式籽晶转轴分离，其密封设计比较简单，但称重误差明显。真空腔内外压力变化使水冷式籽晶转轴及称重传感器受额外的随机的压差载荷，导致晶体称重出现随机的不可控误差。本发明即为解决此难题，将晶体称重装置安放于真空腔内，即与长晶真空腔室直接连通，以彻底消除真空腔内外的随机压差载荷对晶体称重影响，且此装置带有循环冷却水系统，通过合理设计动态密封的循环冷却水系统，避免意外泄漏而污染真空腔。

主权项

1.一种晶体称重装置，其特征在于：包括密封的真空腔体、磁流体密封件、水冷式籽晶转轴、籽晶转轴水冷套、波纹管、称重传感器、提拉装置、冷却螺旋盘管；其中，所述磁流体密封件、籽晶转轴水冷套、称重传感器、提拉装置均位于真空腔体内部；水冷式籽晶转轴的上端与提拉装置连接而下端延伸出真空腔体；波纹管位于真空腔体外部并包围水冷式籽晶转轴延伸出真空腔体的部分；所述冷却螺旋盘管包括安装在真空腔体侧壁上的进液管、同样安装在真空腔体侧壁上的出液管以及位于真空腔体内并围绕籽晶转轴水冷套设置的螺旋盘管，所述螺旋盘管包括流入管与流出管，该流入管的一端与进液管连通而另一端与籽晶转轴水冷套连通，流出管的一端与出液管连通而另一端与籽晶转轴水冷套连通；所述进液管、流入管、籽晶转轴水冷套、流出管、出液管形成回路。