[发明专利]在激光加工中警告保护窗口的污染的激光加工装置

摘要

本发明的激光加工装置具有：分束器，其配置在聚光透镜和保护窗口之间；返回光测定部，其经由分束器测定通过工件反射并返回到外部光学系统的返回光的强度分布；存储部，其存储表示保护窗口正常时的返回光的强度分布的正常图案以及表示保护窗口污染时的返回光的强度分布的异常图案中的至少一方的数据；处理部，其根据返回光的测定数据和正常图案及异常图案中至少一方的数据来检测在激光加工中进行检测保护窗口的污染的处理；以及警告部，其根据处理来警告保护窗口的污染。

主权项

1.一种激光加工装置，其在激光加工中警告保护窗口的污染，其特征在于，该激光加工装置具有：激光振荡器；外部光学系统，其具有将来自上述激光振荡器的输出光聚光的聚光透镜以及配置在上述聚光透镜的下游的保护窗口；分束器，其配置在上述聚光透镜和上述保护窗口之间；返回光测定部，其经由上述分束器测定通过工件进行反射并返回到上述外部光学系统的返回光的强度分布；存储部，其存储正常图案以及异常图案中的至少一方的数据，正常图案表示上述保护窗口正常时的来自上述工件的返回光的强度分布，异常图案表示上述保护窗口污染时的来自上述工件的返回光的强度分布；处理部，其在激光加工中进行检测上述保护窗口的污染的处理；以及警告部，其根据上述处理部的处理来警告上述保护窗口的污染，上述处理部具有污染检测部，该污染检测部根据上述返回光的测定数据和上述正常图案及上述异常图案中的至少一方的数据，来检测上述保护窗口的污染。