[发明专利]一种带吸尘功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备在审
申请号: | 201811393965.6 | 申请日: | 2018-11-21 |
公开(公告)号: | CN109514377A | 公开(公告)日: | 2019-03-26 |
发明(设计)人: | 王歆;吴秀丽;陈琳 | 申请(专利权)人: | 湖南大合新材料有限公司 |
主分类号: | B24B9/06 | 分类号: | B24B9/06;B24B55/06;B24B47/12;B24B41/06;B24B41/02;B24B27/00 |
代理公司: | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人: | 曾志鹏 |
地址: | 421000 湖南省衡阳市*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 一种带吸尘功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备。本发明包括底座,其左上端设置有柜体,柜体的上端设置有支撑架,支撑架上安装有侧面打磨机构;侧面打磨机构包括第一电机、与第一电机输出轴相连的转轴、设置在转轴末端的打磨盘;底座的上端设置有固定板,固定板上固定设置支撑座,支撑座上设置有直线导轨,直线导轨上安装有升降座,升降座与升降机构连接实现上下升降,升降座上设置有第二电机,第二电机的输出轴连接真空吸盘,锑化镓单晶片安装在真空吸盘上;柜体内安装有吸尘装置。本发明结构简单,自动化程度高,能够对2‑5mm厚的锑化镓单晶片进行快速夹装和对锑化镓单晶片侧面进行快速打磨,同时打磨过程产生的粉尘可以被吸尘装置吸收,保护了周边的生产环境。 | ||
搜索关键词: | 锑化镓单晶 升降座 上端 电机 打磨机构 打磨设备 吸尘功能 吸尘装置 真空吸盘 直线导轨 固定板 支撑架 支撑座 侧边 侧面 柜体 底座 打磨 电机输出轴 输出轴连接 固定设置 过程产生 上下升降 生产环境 升降机构 转轴末端 打磨盘 快速夹 转轴 粉尘 自动化 体内 吸收 | ||
【主权项】:
1.一种带吸尘功能的锑化镓单晶片侧边打磨设备,其特征在于,它包括底座(4),其左上端设置有柜体(7),柜体(7)的上端设置有支撑架(9),支撑架(9)上安装有侧面打磨机构;侧面打磨机构包括第一电机(10)、与第一电机(10)输出轴相连的转轴(11)、设置在转轴(11)末端的打磨盘(12);底座(4)的上端设置有固定板(2),固定板(2)上固定设置支撑座(19),支撑座(19)上设置有直线导轨(16),直线导轨(16)上安装有升降座(18),升降座(18)与升降机构连接实现上下升降,升降座(18)上设置有第二电机(3),第二电机(3)的输出轴连接真空吸盘(15),锑化镓单晶片(14)安装在真空吸盘(15)上;柜体(7)内安装有吸尘装置,吸尘装置包括吸尘箱体(5)、设置在吸尘箱体(5)内的抽风机(6)、管体(8)和设置在管体(8)末端的吸尘罩(13),吸尘罩(13)倾斜设置在打磨盘(12)的正下方。
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