[发明专利]一种砷化镓电池外延结构及其制备方法

摘要

本发明提供一种砷化镓电池外延结构及其制备方法。该砷化镓电池外延结构包括衬底和设置在衬底上的牺牲层和电池层，沿远离衬底的方向，牺牲层和电池层依次叠置，牺牲层能通过湿法腐蚀辅助衬底与电池层分离，牺牲层从边缘区域向中心区域厚度逐渐降低。该砷化镓电池外延结构牺牲层结构设计，在湿法腐蚀剥离衬底的过程中，有助于腐蚀液对牺牲层的边缘区域进行腐蚀之后向其中心区域流动，从而能加快牺牲层的整体腐蚀速率，同时，使牺牲层的边缘区域被腐蚀液腐蚀掉之后，还能在一定程度上相对降低电池层的弯曲程度，从而在一定程度上降低了弯曲的电池层与衬底形成闭合的可能性，有助于腐蚀液对牺牲层的中间区域进行快速腐蚀，进而提高了衬底的剥离效率。