[发明专利]扫描振镜在审
| 申请号： | 201811401424.3 | 申请日： | 2018-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN109407307A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 邱纯鑫;刘乐天 | 申请（专利权）人： | 深圳市速腾聚创科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 李文渊 |
| 地址： | 518051 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种扫描振镜，包括：锚定结构、差动电容驱动器、连杆传动组件和扫描镜组件；差动电容驱动器固定在锚定结构上，包括：X轴驱动器、Y轴驱动器和驱动电路；连杆传动组件包括：X轴连杆机构和Y轴连杆机构；X轴驱动器用于在驱动电路输出的第一驱动电压产生的静电力下驱动X轴连杆机构摆动，进而带动扫描镜组件绕Y轴摆动；Y轴驱动器用于在驱动电路输出的第二驱动电压产生的静电力下驱动Y轴连杆机构摆动，进而带动扫描镜组件绕X轴摆动；其中，扫描镜组件绕Y轴摆动的角度与频率和第一驱动电压对应，绕X轴摆动的角度与频率和第二驱动电压对应。采用本扫描振镜能够分别独立地精准控制扫描镜组件绕X轴、Y轴摆动的扫描频率和扫描角度。 | ||
| 搜索关键词： | 摆动 扫描镜组件 连杆机构 扫描振镜 驱动器 第二驱动电压 第一驱动电压 连杆传动组件 驱动电路输出 差动电容 锚定结构 静电力 驱动 精准控制 驱动电路 扫描频率 扫描 申请 | ||
【主权项】：
1.一种扫描振镜，其特征在于，包括：锚定结构和悬挂结构；所述悬挂结构包括差动电容驱动器、连杆传动组件和扫描镜组件；所述差动电容驱动器固定在所述锚定结构上，包括：X轴驱动器、Y轴驱动器和驱动电路；所述连杆传动组件包括：X轴连杆机构和Y轴连杆机构；所述X轴连杆机构分别与所述X轴驱动器和所述扫描镜组件转动连接；所述Y轴连杆机构分别与所述Y轴驱动器和所述扫描镜组件转动连接；所述X轴驱动器用于在所述驱动电路输出的第一驱动电压产生的静电力下驱动所述X轴连杆机构摆动，进而带动所述扫描镜组件绕Y轴摆动；所述Y轴驱动器用于在所述驱动电路输出的第二驱动电压产生的静电力下驱动所述Y轴连杆机构摆动，进而带动所述扫描镜组件绕X轴摆动；其中，所述扫描镜组件绕Y轴摆动的角度与频率和所述第一驱动电压对应，绕X轴摆动的角度与频率和所述第二驱动电压对应。
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