[发明专利]材料尺寸稳定性的评价方法及系统有效
| 申请号： | 201811401586.7 | 申请日： | 2018-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN109612867B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 王凯凯;顾开选;王俊杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | G01N3/60 | 分类号： | G01N3/60 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种材料尺寸稳定性的评价方法及系统，将待评价材料加工成预设结构，将预设结构的第一检测线和第二检测线之间的夹角变化量作为待评价材料尺寸稳定性的表征参数，由于对角度的监测数值精度较高，使得对待评价材料的尺寸稳定性的评价结果具有更好的准确性与更强的可操作性，同时对待评价材料的尺寸稳定性的表征也更加直观。 | ||
| 搜索关键词： | 材料 尺寸 稳定性 评价 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种材料尺寸稳定性的评价方法，其特征在于，包括：S11，将待评价材料加工成预设结构，所述预设结构的表面上具有截面为预设形状的通孔；S12，在所述通孔两侧的所述预设结构的表面上分别确定两个检测点；S13，基于所述通孔每一侧的所述预设结构的表面上的两个检测点，分别确定第一检测线和第二检测线，并确定所述第一检测线和所述第二检测线之间的初始夹角；S14，每隔预设时间段重复执行一次S13，确定所述第一检测线和所述第二检测线之间的实时夹角，并基于所述初始夹角和所述实时夹角，对所述待评价材料的尺寸稳定性进行评价。
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