[发明专利]一种提高碳化硅粉料产率的方法有效
申请号: | 201811402978.5 | 申请日: | 2018-11-23 |
公开(公告)号: | CN109502590B | 公开(公告)日: | 2020-07-03 |
发明(设计)人: | 热尼亚 | 申请(专利权)人: | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
主分类号: | C01B32/984 | 分类号: | C01B32/984 |
代理公司: | 济南千慧专利事务所(普通合伙企业) 37232 | 代理人: | 吴绍群 |
地址: | 250100 山东省济南市高新区*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本申请公开了一种提高碳化硅粉料产率的方法,属于半导体材料制备领域。本申请通过在高纯碳粉硅粉混合料中加入固态糖类,在不引入其它杂质的条件下,借助该糖类随着温度增加,糖类熔化后产生的粘稠液体粘度高的性质,可在反应前期阻止碳粉硅粉分层,随着温度继续升高,糖类分解产生二氧化碳、一氧化碳等其它产物,在达到混合料反应温度前,这些物质可通过抽真空除去,保留下未分层的混合料,促使反应进行的更完全,从而提高碳化硅粉料的产率。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 碳化硅 粉料产率 方法 | ||
【主权项】:
1.一种提高碳化硅粉料产率的方法,其特征在于,包括下述步骤:1)将碳粉、硅粉和糖类混合制得混合料;2)将混合料进行高温反应,制得高纯碳化硅粉料;所述糖类选自单糖、双糖和低聚糖中的至少一种。
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