[发明专利]用于真空仪器的真空进换样方法有效
| 申请号： | 201811404484.0 | 申请日： | 2018-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN109742010B | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 李磊;喻佳俊;黄正旭;高伟;李梅 | 申请（专利权）人： | 暨南大学 |
| 主分类号： | H01J49/00 | 分类号： | H01J49/00;H01J49/02;H01J49/04 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 曾银凤 |
| 地址： | 510665 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于真空仪器的真空进换样方法。该真空进换样方法包括如下步骤：通过分子泵对真空腔抽吸使真空腔保持真空状态；通过驱动组件驱动靶座组件移动至进样孔的内侧开口处以密封进样孔的内侧开口，靶座组件与密封盖之间形成过渡腔，对过渡腔进气使得过渡腔处于常压状态，打开密封盖；当点样有样品的样品靶置于靶座组件上后；关闭密封盖，通过前级泵对过渡腔进行抽吸；通过功率检测器检测分子泵功率；供根据功率检测器检测到的分子泵功率判断过渡腔内的压强是否达到压强预设值；供根据功率检测器检测到的分子泵功率判断真空腔是否达到真空状态。该真空进换样方法进换样效率高且能准确检测真空腔以及过渡腔内的真空状态。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 仪器 换样 方法 | ||
【主权项】：
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