[发明专利]碳纳米管原子氧探测器及其制造方法在审
| 申请号： | 201811406448.8 | 申请日： | 2018-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN109307691A | 公开（公告）日： | 2019-02-05 |
| 发明（设计）人： | 刘宇明;沈自才;李蔓;刘向鹏;田东波 | 申请（专利权）人： | 北京卫星环境工程研究所 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100094 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种空间原子氧的碳纳米管探测器，包括基底、碳纳米管层、电极，其中碳纳米管层设置在基底中间，碳纳米管层的两端各镀上电极，通过测量两电极之间的电阻变化来探测空间氧原子的注量。本发明也公开了一种该探测器的制造方法。本发明的薄膜电阻测量原子氧探测器结构简单，且碳纳米管膜厚度可以控制，具有长的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 碳纳米管层 电极 探测器 碳纳米管 原子氧 基底 碳纳米管膜 薄膜电阻 测量原子 电阻变化 使用寿命 探测空间 氧探测器 氧原子 制造 测量 | ||
【主权项】：
1.空间原子氧的碳纳米管探测器，包括基底、碳纳米管层、电极，其中碳纳米管层设置在基底中间，碳纳米管层的两端各镀上电极，通过测量两电极之间的电阻变化来探测空间氧原子的注量。
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