[发明专利]激光加工前对外部光学系统异常进行警报的激光加工装置

摘要

本发明涉及激光加工装置，尤其涉及在激光加工前对外部光学系统的异常进行警报的激光加工装置。激光加工装置具备：反射板，其相对于出射光的光轴被垂直配置且相对于出射光具有一定的反射率；返回光测定部，其经由分束器对由反射板反射并返回至外部光学系统的返回光的强度分布进行测定；存储部，其将正常时的返回光的强度分布作为基准数据进行存储；预处理部，其根据返回光的强度分布的测定数据与基准数据的比较，在激光加工前进行如下处理：对光轴偏移、光束直径异常、模式异常、重影、保护窗口的脏污、以及由热透镜效应引起的焦点偏移中的至少1种进行确定；以及警报部，其按照预处理部对外部光学系统的异常进行警报。

主权项

1.一种激光加工装置，其在激光加工前对外部光学系统的异常进行警报，其特征在于，该激光加工装置具备：激光振荡器；外部光学系统，其用于经由分束器对来自上述激光振荡器的正向的输出光进行导光而照射在工件的表面；反射板，其相对于从上述外部光学系统射出的出射光的光轴垂直地配置且对上述出射光具有一定的反射率；返回光测定部，其经由上述分束器测定由上述反射板反射而返回至上述外部光学系统的返回光的强度分布；存储部，其将上述外部光学系统正常时的上述返回光的强度分布作为基准数据进行存储；预处理部，其根据上述返回光的强度分布的测定数据与上述基准数据的比较，在激光加工前进行确定起因于上述外部光学系统的光轴偏移、光束直径异常、模式异常、重影、保护窗口的脏污、以及由热透镜效应引起的焦点偏移中的至少1种的处理；以及警报部，其根据上述预处理部的处理对上述外部光学系统的异常进行警报。