[发明专利]一种带有上浮栅结构的梯形射频MEMS开关

摘要

本发明涉及一种带有上浮栅结构的梯形射频MEMS开关，属于射频微电子机械系统(RFMEMS)和通信技术领域。本发明采用梯形的悬臂梁结构，通过在悬臂梁三角形外边框内沿信号方向设置一个或多个横梁，降低开关制作的工艺复杂度，并可通过调整悬臂梁的弹性系数，调节开关的驱动电压。相比于已有的静电驱动式MEMS开关，本发明在悬臂梁下方设置由隔离层和电荷充电层共同组成的浮栅结构，通过对浮栅结构预充电，降低并调节开关在工作状态下驱动电压，提高开关的可靠性和使用寿命。本发明的射频MEMS开关，可以与其他MEMS器件兼容制作，应用在移动终端等通信领域。

主权项

1.一种带有浮栅结构的梯形射频MEMS开关，其特征在于包括衬底、两根信号传输线、两根地线、空气桥、悬臂梁、下电极、隔离层和电荷存储层；所述的两根信号传输线对称置于衬底上，所述的下电极置于两根信号传输线之间；所述的悬臂梁的一端通过锚点柱固定在一根信号传输线的上方，悬臂梁的另一端悬臂横跨在下电极的上方，到达另一根信号传输线端部的上方，另一根信号传输线的该端部设置有接触点；所述的隔离层和电荷存储层组成一个浮栅结构，该浮栅结构置于悬臂梁的下表面，其中的电荷存储层与下电极相对；所述的两根地线对称置于两根信号传输线两侧的衬底上，其中的一根地线在中间断开；所述的空气桥通过锚点柱架在地线中间断开处的上方；所述的下电极引出线置于衬底上，下电极引出线的一端与下电极相连接，与下电极相连接后的下电极引出线从空气桥下方穿出。