[发明专利]使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法及系统有效
| 申请号： | 201811414461.8 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN109374262B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 何锋赟;胡玥;张春林;贾庆莲;赵新令;刘扬 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G02B27/62 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 吴乃壮 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法及系统，方法包括：提供标准扩束光学系统及标准扩束光学系统检测光路，标准扩束光学系统包括：主镜、次镜、调焦镜，标准扩束光学系统中，主镜、次镜、调焦镜针对近红外波段校正像差，为近似理想成像的平行光扩束系统；标准扩束光学系统检测光路包括：平面反射镜、干涉仪，平面反射镜及干涉仪分别设于标准扩束光学系统的左侧与右侧；使用可见光干涉仪对标准近红外光学系统进行装调，使标准光学系统两侧对于可见光干涉仪波长为平行光；按照设计结果精确移动调焦镜，使标准光学系统变为在近红外波段为平行光。本发明使用调焦镜移动位置补偿，使用干涉仪进行装调检测，保证光学系统精度。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 干涉仪 色差 光学系统 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种使用干涉仪对非消色差光学系统装调检测方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)提供标准扩束光学系统及标准扩束光学系统检测光路，所述标准扩束光学系统包括：主镜、次镜、调焦镜，所述主镜、次镜、调焦镜针对近红外波段校正像差，为理想成像的平行光扩束系统；所述标准扩束光学系统检测光路包括：平面反射镜、干涉仪，将所述平面反射镜及干涉仪分别设于所述标准扩束光学系统的光路两侧；(2)精确移动所述调焦镜，使标准光学系统在使用干涉仪检测时，对于所述干涉仪的波长可以保持两侧都是标准平行光。
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