[发明专利]一种制备ppbv级水分杂质的电子级氯化氢气体的方法

摘要

本发明涉及高纯气体制备领域，具体关于一种制备ppbv级水分杂质的电子级氯化氢气体的方法；本发明方法公开的一种制备ppbv级水分杂质的电子级氯化氢气体的方法，本方法采用一种反应气体来吸收氯化氢中残存中的水，本方法中的反应气体与微量的水反应生产二氧化硅、硼酸和氢气等易于除去的组分。通过该方法不仅可以将氯化氢中的水分由ppmv级降至ppbv级，而且还解决了含水的氯化氢原料不能通过精馏的方式来脱除轻重杂质的问题；本方法提供一种含铒钇增效填料，该种填料能后对反应气体有效吸附，有效决绝了反应气体残留的问题。本发明工艺为连续运行，不仅经济可靠，氯化氢气体质量稳定，水分含量极低。

主权项

1.一种制备ppbv级水分杂质的电子级氯化氢气体的方法，其技术方案如下：步骤1、气体的粗干燥，将氯化氢气体粗品经过压缩过滤后，以0.1‑1MP的压力和0.5‑5m3/h的流速经过干燥塔干燥，吸附脱除大部分水分；步骤2、气体中痕量水分的去除，将初步干燥的氯化氢气体加热到50‑80℃，然后以1‑5m3/h的流速进入到反应塔中，反应塔中同时以0.001‑0.005m3/h的流速通入反应气体和氮气的混合气体，所述的混合气体中反应气体的体积份数为5%‑10%；步骤3、压缩冷凝，气体经过反应塔后，经过过滤后进入到压缩冷凝塔中，将气体压缩至1.5‑3.5MP，冷却至零下10℃‑30℃；其特征在于：步骤4、精馏分离，将经过压缩冷凝后的氯化氢气体通入到精馏塔中，所述的精馏塔分为脱轻塔和脱重塔；氮气，氧气，氢气，甲烷等低沸点气体从脱轻塔顶排出，氯化氢气体从脱轻塔底部排出进入脱重塔；在脱重塔中，氯化氢汽化脱除比氯化氢重的高沸点组分，并从脱重精馏塔塔顶出来；所述的脱重塔中使用一种含铒钇增效填料，能有效除去重组分中残留的反应气体；步骤5、气体灌装，从脱重精馏塔塔顶出来的高纯氯化氢经压缩灌装系统装瓶即可。