[发明专利]物理量传感器、电子机器及移动体

摘要

本发明涉及物理量传感器、电子机器及移动体。本发明的物理量传感器具有可动部，该可动部包括位于与旋转轴正交的第一方向一侧的第一质量部及位于另一侧的第二质量部、以及连结第一质量部和第二质量部的连结部。另外，连结部包括第一缝隙、位于第一缝隙的一侧的第二缝隙、和位于另一侧的第三缝隙。而且，当在俯视下，将通过第一缝隙的中心且沿着第一方向的轴作为第一中心轴，将通过第二缝隙的中心且沿着第一方向的轴作为第二中心轴，将通过第三缝隙的中心且沿着第一方向的轴作为第三中心轴时，第二中心轴以及第三中心轴分别相对于第一中心轴在旋转轴的方向上错开。

主权项

1.一种物理量传感器，其特征在于，包括：基板；以及被所述基板支承的元件部，所述元件部包括：安装于所述基板的固定部；可动部；以及连接所述固定部和所述可动部的支承梁，所述可动部能够以所述支承梁为旋转轴移位，所述可动部包括：第一质量部，经由旋转轴，位于与所述旋转轴正交的第一方向的一侧；第二质量部，位于所述第一方向的另一侧；以及连结部，与所述支承梁连接，连结所述第一质量部和所述第二质量部，所述连结部包括：第一缝隙；第二缝隙，位于所述第一缝隙的所述第一质量部一侧；以及第三缝隙，位于所述第一缝隙的所述第二质量部一侧，当在俯视下，将通过所述第一缝隙的中心且沿着所述第一方向的轴作为第一中心轴，在俯视下，将通过所述第二缝隙的中心且沿着所述第一方向的轴作为第二中心轴，在俯视下，将通过所述第三缝隙的中心且沿着所述第一方向的轴作为第三中心轴时，所述第二中心轴以及所述第三中心轴分别相对于所述第一中心轴在所述旋转轴的方向上错开。