[发明专利]一种新型旋转磁控圆型柱弧靶装置

摘要

本发明公开了一种新型旋转磁控圆型柱弧靶装置，包括壳体、第一绝缘垫、真空密封端盖装置、第一O型圈、屏蔽罩绝缘垫、轴芯挡圈、屏蔽罩、驱动轴芯、调心轴承、磁性密封装置、磁性液体、圆锥滚子轴承、小圆螺母、锁紧螺母、驱动同步带轮、电机支架、分水装置、同步带、电机同步带轮、电机涨紧装置、电机绝缘垫、驱动电机、轴用卡簧、第一旋转导电装置、第一端密封盖、第二O型圈、第二端密封盖、进水接头、出水接头、旋转磁棒装置、第三O型圈、第二旋转导电装置、靶材端密封盖和靶材，本发明有利于涂层的均匀性和提高附着力，实现离子镀膜的最佳工艺，设备运行稳定可靠，极大地提高生产效率。

主权项

1.一种新型旋转磁控圆型柱弧靶装置，其特征在于，包括壳体(1)、第一绝缘垫(2)、真空密封端盖装置(3)、第一O型圈(4)、屏蔽罩绝缘垫(5)、轴芯挡圈(6)、屏蔽罩(7)、驱动轴芯(8)、调心轴承(9)、磁性密封装置(10)、磁性液体(11)、圆锥滚子轴承(12)、小圆螺母(13)、锁紧螺母(14)、驱动同步带轮(15)、电机支架(16)、分水装置(17)、同步带(18)、电机同步带轮(19)、电机涨紧装置(20)、电机绝缘垫(21)、驱动电机(22)、轴用卡簧(23)、第一旋转导电装置(24)、第一端密封盖(25)、第二O型圈(26)、第二端密封盖(27)、进水接头(28)、出水接头(29)、旋转磁棒装置(30)、第三O型圈(31)、第二旋转导电装置(32)、靶材端密封盖(33)和靶材(34)，驱动轴芯(8)上安装有调心轴承(9)，驱动轴芯(8)上的密封间隙(1004)沟槽内注入磁性液体(11)，轴芯挡圈(6)安装在调心轴承(9)上，驱动轴芯(8)的密封间隙(1004)处还安装有磁性密封装置(10)，圆锥滚子轴承(12)安装在壳体(1)和驱动轴芯(8)上，锁紧螺母(14)和小圆螺母(13)依次压紧圆锥滚子轴承(12)设置，真空密封端盖装置(3)通过螺丝固定在壳体(1)上，驱动轴芯(8)通过轴用卡簧(23)安装固定有驱动同步带轮(15)，驱动电机(22)通过螺丝与电机绝缘垫(21)固定，驱动电机(22)、电机绝缘垫(21)通过螺丝安装在电机支架(16)上，电机支架(16)安装在壳体(1)上，电机同步带轮(19)安装在驱动电机(22)上，同步带(18)将电机同步带轮(19)与驱动同步带轮(15)连接，电机支架(16)上安装有用于张紧同步带(18)的电机张紧装置(20)，分水装置(17)通过螺丝与电机支架(16)和壳体(1)固定，第一旋转导电装置(24)固定在驱动轴芯(8)上，分水装置(17)上依次固定有第一端密封盖(25)、第二O型圈(26)、第二端密封盖(27)，分水装置(17)上设置有出水接头(29)，进水接头(28)设置在驱动轴芯(8)左端，第一绝缘垫(2)、第一O型圈(4)、屏蔽罩绝缘垫(5)、屏蔽罩(7)依次通过螺丝固定在壳体(1)上，靶材(34)通过螺纹连接安装在驱动轴芯(8)上，靶材(34)外端通过第三O型圈(31)设置有靶材端密封盖(33)，靶材端密封盖(33)内侧设置有第二旋转导电装置(32)。