[发明专利]一种用于多弧离子镀设备圆形平面多弧靶装置在审
| 申请号： | 201811420472.7 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN109338310A | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 张俊峰;赵子东;许春立;张大剑 | 申请（专利权）人： | 上海子创镀膜技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201505 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于多弧离子镀设备圆形平面多弧靶装置，靶座焊接在真空腔体上，密封绝缘垫安装在靶座上，靶连接法兰压住密封绝缘垫设置，连接螺丝绝缘套通过内六角螺丝固定安装在靶连接法兰的螺孔中，O型圈安装在靶连接法兰上，靶头绝缘垫安装在O型圈上，靶头装置安装在靶头绝缘垫上，靶头装置内部通过靶连接上压法兰固定有磁钢装置，靶材在真空侧通过螺丝固定在靶头装置上，屏蔽罩通过靶材装配在靶连接法兰上，靶头装置上还连接有外部接线柱，引弧装置安装在靶连接法兰上。本发明实现离子镀膜的最佳工艺，极大的提高生产效率，并提供一种气动控制式多弧靶引弧针，结构简单，引狐动作稳定、准确，密封可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 靶头 连接法兰 多弧离子镀设备 密封绝缘 圆形平面 靶装置 绝缘垫 靶材 靶座 内六角螺丝 磁钢装置 动作稳定 离子镀膜 连接螺丝 螺丝固定 气动控制 生产效率 引弧装置 真空腔体 装置安装 接线柱 绝缘套 螺孔中 屏蔽罩 压法兰 引弧针 压住 焊接 密封 装配 外部 | ||
【主权项】：
1.一种用于多弧离子镀设备圆形平面多弧靶装置，其特征在于，包括靶座(1)、密封绝缘垫(2)、连接螺丝绝缘套(3)、靶连接法兰(4)、靶连接上压法兰(5)、靶头绝缘垫(6)、外部接线柱(7)、靶材(8)、屏蔽罩(9)、磁钢装置(10)、引弧装置(11)和靶头装置(16)，靶座(1)焊接在真空腔体上，密封绝缘垫(2)安装在靶座(1)上，靶连接法兰(4)压住密封绝缘垫(2)设置，连接螺丝绝缘套(3)通过内六角螺丝固定安装在靶连接法兰(4)的螺孔中，O型圈安装在靶连接法兰(4)上，靶头绝缘垫(6)安装在O型圈上，靶头装置(16)安装在靶头绝缘垫(6)上，靶头装置(16)内部通过靶连接上压法兰(5)固定有磁钢装置(10)，靶材(8)在真空侧通过螺丝固定在靶头装置(16)上，屏蔽罩(9)通过靶材(8)装配在靶连接法兰(4)上，靶头装置(16)上还连接有外部接线柱(7)，引弧装置(11)安装在靶连接法兰(4)上。
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