[发明专利]一种非接触式基片架传动磁导向装置在审
| 申请号： | 201811420518.5 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN109355630A | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 张俊峰;赵子东;许春立;张大剑 | 申请（专利权）人： | 上海子创镀膜技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201505 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种非接触式基片架传动磁导向装置，真空室磁导向装置安装在真空镀膜箱顶板上，装卸台磁导向装置设置在装卸台顶板上，真空室磁导向装置和装卸台磁导向装置的U型槽开口朝下设置，基片顶杆插装在U形槽内的磁导向单元之间，基片架顶杆上设置的磁铁与U形槽内的磁导向单元上磁铁磁极相对应，互为斥力，形成非接触式导向定位；基片架底部安装有圆形导杆，导杆安装在带有半圆凹槽的导轮上；导轮经真空室的磁流体或装卸台的轴承座与同步带轮同轴相连，由驱动部件通过同步带轮将动力传递给导轮，靠导轮与导杆间的磨擦力使基片架前行。本发明结构简单，运行平稳，导向精度高，利用磁体排斥力实现非接触式导向定位。 | ||
| 搜索关键词： | 磁导向装置 基片架 非接触式 装卸台 导轮 真空室 磁导向单元 导向定位 同步带轮 传动 导杆 顶杆 磁极 真空镀膜箱 半圆凹槽 动力传递 开口朝下 驱动部件 同轴相连 圆形导杆 磁流体 磨擦力 排斥力 上磁铁 轴承座 磁铁 插装 斥力 前行 | ||
【主权项】：
1.一种非接触式基片架传动磁导向装置，其特征在于，包括装卸台磁导向装置(A)和 真空室磁导向装置(B)，真空室磁导向装置(B)安装在真空镀膜箱顶板(1)上，装卸台磁导向装置(A)设置在装卸台顶板(2)上，真空室磁导向装置和装卸台磁导向装置的U型槽(3)开口朝下设置，基片架顶杆(4)插装在U形槽(3)内的磁导向单元之间，基片架顶杆(4)上设置的磁铁与U形槽内的磁导向单元上磁铁磁极相对应，互为斥力，形成非接触式导向定位；基片架底部安装有圆形导杆(5)，导杆安装在带有半圆凹槽的导轮(6)上；导轮经真空室的磁流体(7)或装卸台的轴承座(8)与同步带轮(9)同轴相连，由驱动部件通过同步带轮将动力传递给导轮，靠导轮与导杆间的磨擦力使基片架前行。
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