[发明专利]基于柔性电感-硅基电感结构的风速传感器有效
| 申请号： | 201811423034.6 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN109580981B | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 易真翔;万煜;邓文俊;王立峰 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P5/08 | 分类号： | G01P5/08 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 熊玉玮 |
| 地址： | 211189 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了基于柔性电感‑硅基电感结构的风速传感器，涉及MEMS器件，属于测量测试的技术领域。该风速传感器为柔性电感和硅基电感组成的双层电感结构，所述柔性电感的金属层与硅基电感的金属层面对面且二者之间留有足够互感电动势的空气腔，硅基电感金属层中淀积有构成测定端口的接触块，结构轻便，响应速度快，利用伯努利效应及线圈互感效应实现风速检测，电感自身热损耗小，降低了传感器功率。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 柔性 电感 结构 风速 传感器 | ||
【主权项】：
1.基于柔性电感‑硅基电感结构的风速传感器，其特征在于，所述风速传感器为柔性电感和硅基电感组成的双层电感结构，所述柔性电感的金属层与硅基电感的金属层面对面且二者之间留有足够互感电动势的空气腔，所述硅基电感金属层中淀积有构成测定端口的接触块。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东南大学，未经东南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811423034.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
