[发明专利]一种加热旋转平台装置及其使用方法

摘要

本发明属于半导体制程中喷胶领域，具体地说是一种加热旋转平台装置及其使用方法，装置包括单元平台、加热盘、连接法兰、中空旋转电机、固定架及中空旋转平台，固定架固接于单元平台上，中空旋转电机安装在固定架上，中空旋转平台可相对转动地设置在固定架上，并由中空旋转电机驱动旋转；连接法兰的一端与中空旋转平台相连，另一端由单元平台穿过、并连接有加热盘，加热盘上的加热丝电线及真空管由连接法兰内部、中空旋转平台穿过。本发明解决了现有技术需要定期人工校准的麻烦，且取缔了易坏导电滑环的使用。方便了人工操作且提供了工作效率。