[发明专利]物理量传感器、惯性计测装置、电子设备以及移动体有效
| 申请号： | 201811423681.7 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN109839516B | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 田中悟 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125;G01C21/16 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 玉昌峰;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够减少可动部的过度位移的物理量传感器、惯性计测装置、电子设备以及移动体。物理量传感器包括：基板；固定部，固定于基板；可动部，包括包围固定部的框部，与固定部连接，并能相对于基板在X轴方向上位移；以及可动电极，支承于可动部。另外，框部包括：第一外缘部，位于X轴方向的一侧，并沿着Y轴方向配置；以及第二外缘部，位于X轴方向的另一侧，并沿着Y轴方向配置。另外，相比第一外缘部，固定部更靠第二外缘部一侧而配置，基板包括：第一凸部，与第一外缘部重叠，并与第一外缘部相分离地配置；以及第二凸部，与第二外缘部重叠，并与第二外缘部相分离地配置。 | ||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 惯性 装置 电子设备 以及 移动 | ||
【主权项】：
1.一种物理量传感器，其特征在于，包括：基板；固定部，固定于所述基板；可动部，所述可动部包括俯视观察时包围所述固定部的框部，与所述固定部连接，并能相对于所述基板在第一方向上位移；以及可动电极，支承于所述可动部，所述框部包括：第一外缘部，位于所述第一方向的一侧，并沿着与所述第一方向正交的第二方向配置；以及第二外缘部，位于所述第一方向的另一侧，并沿着所述第二方向配置，相比所述第一外缘部，所述固定部更靠所述第二外缘部一侧而配置，所述基板包括：第一凸部，在俯视观察时与所述第一外缘部重叠、且与所述第一外缘部相分离地配置；以及第二凸部，在俯视观察时与所述第二外缘部重叠、且与所述第二外缘部相分离地配置。
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