[发明专利]用于车辆LIDAR的多小平面MEMS反射镜装置有效
| 申请号： | 201811424259.3 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN109959912B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | Y·K·洛 | 申请（专利权）人： | 安波福技术有限公司 |
| 主分类号： | G01S7/481 | 分类号： | G01S7/481 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 蔡洪贵 |
| 地址： | 巴巴多斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种示例性的示例MEMS装置(22)，其包括基部(40)以及支撑在该基部(40)上的多个镜面(42)。该多个镜面(42)分别相对于该基部(40)处于固定位置。该多个镜面(42)相对于基准(44)成对应角度(80‑86)。镜面(42)中的至少一些镜面的对应角度(80‑86)与镜面(42)中的至少一些其它镜面的对应角度(80‑86)不同。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 车辆 lidar 平面 mems 反射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS装置(22)，包括：基部(40)；以及支撑在所述基部(40)上的多个镜面(42)，所述多个镜面(42)分别相对于所述基部(40)处于固定位置，所述多个镜面(42)相对于基准(44)成对应角度(80‑86)，其中，所述镜面(42)中的至少一些镜面的对应角度与所述镜面(42)中的至少一些其它镜面的对应角度不同。
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